产品详情
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标识 |
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【产品名称】：四氟化碳 |
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【中文名】：四氟化碳、四氟甲烷 |
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【英文名】：Carbon tetrafluoride |
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【分子式】：CF4 |
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【相对分子量】：88 |
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【CAS号】：75-73-0 |
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【危险性类别】： |
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主要组成与性状 |
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【成分含量】：99.9% |
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【外观与性状】：无色、无臭、不燃的易压缩性气体 |
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【主要用途】：用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂 |
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性质与稳定性 |
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【性质与稳定性】：常温常压下稳定，避免强氧化剂、易燃或可燃物。不燃气体，遇高热后容器内压增大，有开裂、爆炸危险。化学性质稳定，不燃。常温下只有液氨-金属钠试剂能发生作用。 |
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储存方法 |
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【储存方法】：储存注意事项：储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 |
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包装方法 |
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【包装方法】：钢瓶气瓶 |
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